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T.各種圧電定数の評価:ε, kp, k31, k33, Qm etc.

 
     
 

圧電素子のインピーダンス特性を評価、その共振・反共振周波数より各パラメータを算出

インピーダンスアナライザ (IM3570)

(製造元:HIOKI)

LCRメータとインピーダンスアナライザが1台になった測定器です。測定周波数を連続的に変化させるスイープ測定が可能です。

■測定周波数:4Hz〜5MHz
■生産ラインに最適な高速検査を実現
LCRモードで最速1.5ms

インピーダンスアナライザ (IM3570) 
 
     
 

U.圧電d定数

 
     
 

応力を加えたときに発生する電荷量 (pC/N)  (  正圧電効果) 
電圧を印加したときに発生する歪み量 (pm/V) (  逆圧電効果)

d33メータ ( ≪ 正圧電効果)

(製造元:ユーテック、アルファ)

本体の測定子に圧電体を挟むだけで、対象物の形状・大きさに関係なくリアルタイムで測定が可能です。

通常のバルク体から、現行d33メータでは計測が困難とされておりました圧電樹脂や薄膜の計測を実現しました。

■測定レンジ:〜2000pC/N、分解能:0.01pC/N
■印加応力:0.1〜15N
圧電d定数

ヘテロダイン式レーザ変位計 (ST-3761) (   逆圧電効果)

(製造元:岩通計測)

光へテロダイン方式は、わずかに異なる周波数の信号光と参照光のレーザ光を重ねて、そのビート(うねり)信号を検出することで測定を行ないます。
静止状態(DC)から広帯域(2.3MHz)までの振動測定が可能です。圧電素子、光ディスク、マイクロマシンの微小変位測定に最適です。

■作動距離:50mm、スポット径:70μm

ヘテロダイン式レーザ変位計
 
     
     
 
 
 
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